四氟烘箱在工作過程中可能會產(chǎn)生含氟廢氣，其特殊的凈化方式能減少污染。采用水洗噴淋法，讓廢氣通過水幕，部分氟化物可溶解于水，初步降低廢氣中氟化物濃度。接著，利用活性炭吸附技術(shù)，活性炭有豐富的孔隙結(jié)構(gòu)，能吸附廢氣里剩余的氟化物及其他有機雜質(zhì)。而且，還配備了特殊的催化劑反應(yīng)裝置，在特定溫度和催化劑作用下，使氟化物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，轉(zhuǎn)化為低毒或無毒物質(zhì)。
        另外，為了進一步確保凈化效果，會在排氣口設(shè)置氟化物監(jiān)測儀，實時監(jiān)測排放氣體中的氟化物含量，一旦超標就會自動調(diào)整凈化流程，保證排放符合環(huán)保標準。